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　　1.亂流式：空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀況。此型式適用于潔凈室等級1000-100000級。

　　長處：結構簡單、系統締形成本不高，潔凈室擴大比較簡單，在某些特殊用途場所，可并用無塵作業臺，提高潔凈室等級。

　　缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制造產品。另外若系統中止作業再激活，欲到達需求的潔凈度，往往須耗時適當長的時刻。

　　2.層流式：層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由掩蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需求較高的環境運用，一般其潔凈室等級為1-100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻面之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下賤側污染較嚴峻。

　　長處：結構簡單，作業后短時刻內即可變成穩定。

　　缺陷：締造費用比亂流式高，室內空間不易擴大。

　　(2)筆直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或作業人員所發生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它作業區域。

　　長處：管理簡單，作業開始短時刻內即可達穩定狀況，不易被作業狀況或作業人員所影響。

　　缺陷：結構費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架適當占空間，修理更換過濾器較麻煩。

　　3.復合式：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈地道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或作業區域100%掩蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝作業費用。此型式需將作業人員的作業區與產品和機器修理予以隔離，以防止機器修理時影響了作業及質量，ULSI制程大都選用此種型式。潔凈地道還有二項長處：

　　A.彈性擴大簡單；

　　B.修理設備時可在修理區容易履行。

　　(2)潔凈管道：將產品流程通過的自動出產線圍住并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境彼此隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化出產線比較適宜運用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

　　(3)并裝部分潔凈室：將潔凈室等級1000-100000之亂流潔凈室內的產品制程區的潔凈度等級提高為10-1000級以上，作為出產之用；潔凈作業臺、潔凈作業棚、潔凈風柜即屬此類。

　　潔凈作業臺：等級1-100級。

　　潔凈作業棚：為在亂流式的潔凈室空間內以防靜電的通明塑料布圍成一小空間，選用獨立的HEPA或ULPA及空調送風機組而成為較高級的潔凈空間，其等級為10-1000級，高度在2.5米左右，掩蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可以彈性運用。

文章源自    廣東凈化工程：http://www.0571pet.cn/